對于不同類型的氣體，高純氣體有不同的純度指標。如氮氣、氫氣、氬氣、氦氣等，通常指純度大于等于99.999%的;氧氣的純度為99.99%。它被稱為高純度氧;對于碳氫化合物，純度為99.99%的氣體可視為高純度的。這種類型氣體的應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛。在半導體工業(yè)中，高純度的氮、氫、氬、氦可用作載氣和保護氣，可作為制備混合氣的底氣。

　　在這類氣體中，按分子結(jié)構(gòu)的不同可分為有機和無機類型。該氣體廣泛應(yīng)用于各種工藝。高它的純度直接影響工藝和結(jié)果，根據(jù)技術(shù)水平的不同，可以生產(chǎn)的純度也不均勻。以液化空氣為例，純度可達99.99995%。

　　作為現(xiàn)代工業(yè)的重要基礎(chǔ)原料，該氣體有著廣泛的應(yīng)用。廣泛應(yīng)用于冶金、鋼鐵、石油、化工、機械、電子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、醫(yī)藥、醫(yī)療等行業(yè)。

　　電子工業(yè)中使用的氣體分為元素氣體(如氫、氧、氮和多元氣體(硅烷、氯化氫和混合氣體(硅烷和氫、磷烷和氮))。氣體純度的含義是指除基本氣體外，剩余的末端雜質(zhì)。氣體純度有很多等級，如普通氣體、高純氣體等，至于純度，則取決于具體的雜質(zhì)含量。